一、項目信息
（1）采購人：中國科學院光電技術研究所?
（2）項目名稱：重點研發計劃類項目?
（3）擬采購的貨物或服務說明：?
包含BEAMER和TRACER兩個完整軟件包。包含1年的軟件升級技術支持服務。
（4）擬采購的貨物或服務預算金額：
預算金額98萬元。?
（5）采用單一來源采購方式的原因及說明：?
????電子束直寫數據處理軟件是高斯束電子束直寫圖形處理的標配軟件。主要用于版圖數據的布局操作、過程校正、特殊的圖形切割以及寫場控制，并實現單純直寫系統硬件上做不到的特殊器件以及應用。
????目前，本單位已經購置過一套電子束直寫數據處理軟件，但該軟件僅支持單用戶操作，目前使用已飽和。而目前承擔的項目所需的版圖數據處理量大幅增加。由于版圖數據量大，軟件處理時間長、耗時，會嚴重影響效率和進度。已有軟件已無法支撐相關工作的開展。因此，需要新購一套電子束直寫數據處理軟件，提高掩模圖形數據處理的能力，保障項目的進度。
????德國GenISys公司的BEAMER和TRACER是目前唯一的電子束直寫軟件整體解決方案，在高端50kv-200kv高斯束電子束直寫系統中保持壟斷的市場份額。因此，本項目只能通過單一來源方式進行采購。
二、擬定供應商信息?
名稱：GenISys GmbH
地址：Eschenstra?e 66, D-82024 Taufkirchen?
三、?公示期限?
2024年12月2日 至?2023年12月8日?
四、?聯系方式?
聯系人：中國科學院光電技術研究所?
聯系方式：劉老師?028-85752244
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