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超精密光學制造與檢測

2019-12-23 分享

　　建立了超精密光學制造與檢測平臺，具備加工300mm口徑以內各類光學玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力，擁有支持完整工藝鏈的高端數控加工設備。突破了一系列超精密光學制造和檢測關鍵技術，平面和球面達到深亞納米精度，非球面達到亞納米精度。 

　　基于深亞納米超高精度檢測及制造技術，可實現平面和球面光學元件：面形精度優于0.3nm RMS，表面粗糙度優于0.2nm RMS；非球面光學元件：面形精度優于1nm RMS，表面粗糙度優于0.3nm RMS。

  

   

　   　球面透鏡                     非球面透鏡                碳化硅反射鏡                  1等平晶 

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